太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng))；量測軟體:I-V /C-V Curve, Isc, Voc,Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,Power Convert Efficiency采用KEITHLEY Source Meter可加配任意品牌之太陽光模擬器。x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)，無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。探針臺的建設(shè)和運行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性。浙江IC探針臺廠商

探針臺由哪些部分組成？樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小，并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。光學(xué)元件：這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針先進(jìn)對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機，或者兩者兼有。探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針先進(jìn)尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應(yīng)與探針尖匹配。深圳探針臺生產(chǎn)商探針臺的技術(shù)需要不斷推陳出新。

由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用專門使用工具撬起動子，方法同前， 輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

重復(fù)定位探針先進(jìn)的過程，直到測試完所有必需的設(shè)備。這個過程都可以由操作員手動完成，但如果載物臺和機械手是電動的，并且顯微鏡連接到計算機視覺系統(tǒng)，那么這個過程可以變成半自動或全自動。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運行多個測試所需的勞動力。作為半導(dǎo)體封測行業(yè)三大設(shè)備之一，探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試，研發(fā)難度大，國產(chǎn)化率低，進(jìn)口依賴度高，它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。探針臺加工廠家潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。探針臺的建設(shè)和發(fā)展需要長期的投入和堅定的信心。

根據(jù)探針測試需要，XY 精密工作臺的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復(fù) 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計時，為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機 驅(qū)動，全閉環(huán)運動控制；整個工作臺需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計尺寸，XY 工作臺結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導(dǎo)軌等外購件，選型號時，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求，需要對相應(yīng)外購件加裝特制 密封罩。探針臺的運營需要考慮科學(xué)、技術(shù)和管理等多個方面的因素，并做好安全保密方面的工作。遼寧大型探針臺

探針臺的設(shè)立能夠加深人類對宇宙和自身的認(rèn)識。浙江IC探針臺廠商

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。據(jù) SEMI 預(yù)測，2020 年全球的探針臺市場規(guī)模約為 42.96 億元。由于半導(dǎo)體設(shè)備需求 與半導(dǎo)體芯片出貨量息息相關(guān)，在 5G、物聯(lián)網(wǎng)等因素的催化下，半導(dǎo)體芯片出貨量維持較 高規(guī)模，半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將穩(wěn)步提升，探針臺市場規(guī)模在 2021、2022 年有望達(dá)到 51.56 億元、59.29 億元。浙江IC探針臺廠商

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