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基于白光干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的鍺膜厚度測(cè)量方案研究:在對(duì)比研究目前常用的白光干涉測(cè)量方案的基礎(chǔ)上,我們發(fā)現(xiàn)當(dāng)兩干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個(gè)干涉峰時(shí),常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。為此,我們提出了適用于極小光程差的基于干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的測(cè)量方案。干涉光譜的峰值波長會(huì)隨著光程差的增大出現(xiàn)周期性的紅移和藍(lán)移,當(dāng)光程差在較小范圍內(nèi)變化時(shí),峰值波長的移動(dòng)與光程差成正比。根據(jù)這一原理,搭建了光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)對(duì)這一測(cè)量解調(diào)方案進(jìn)行驗(yàn)證,得到了光纖端面半導(dǎo)體鍺薄膜的厚度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示鍺膜的厚度為,與臺(tái)階儀測(cè)量結(jié)果存在,這是因?yàn)楸∧け砻姹旧聿⒉还饣?,臺(tái)階儀的測(cè)量結(jié)果只能作為參考值。鍺膜厚度測(cè)量誤差主要來自光源的波長漂移和溫度控制誤差。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的在線檢測(cè)和控制。高精度膜厚儀銷售價(jià)格
開展白光干涉理論分析,在此基礎(chǔ)詳細(xì)介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理,完成了應(yīng)用于靶丸殼層折射率和厚度分布測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置的設(shè)計(jì)及搭建。該實(shí)驗(yàn)裝置主要由白光反射光譜探測(cè)模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運(yùn)動(dòng)模塊、氣浮隔震平臺(tái)等幾部分組成,可實(shí)現(xiàn)靶丸的負(fù)壓吸附、靶丸位置的精密調(diào)整以及靶丸360°范圍的旋轉(zhuǎn)及特定角度下靶丸殼層白光反射光譜的測(cè)量。基于白光垂直掃描干涉和白光反射光譜的基本原理,建立了二者聯(lián)用的靶丸殼層折射率測(cè)量方法,該方法利用白光反射光譜測(cè)量靶丸殼層光學(xué)厚度,利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測(cè)量光線通過靶丸殼層后的光程增量,二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。湖南防水膜厚儀白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的快速測(cè)量和分析。
確定靶丸折射率及厚度的算法,由于干涉光譜信號(hào)與膜的光參量直接相關(guān),這里主要考慮光譜分析的方法根據(jù)測(cè)量膜的反射或透射光譜進(jìn)行分析計(jì)算,可獲得膜的厚度、折射率等參數(shù)。根據(jù)光譜信號(hào)分析計(jì)算膜折射率及厚度的方法主要有極值法和包絡(luò)法、全光譜擬合法。極值法測(cè)量膜厚度主要是根據(jù)薄膜反射或透射光譜曲線上的波峰的位置來計(jì)算,對(duì)于弱色散介質(zhì),折射率為恒定值,根據(jù)兩個(gè)或兩個(gè)以上的極大值點(diǎn)的位置,求得膜的光學(xué)厚度,若已知膜折射率即可求解膜的厚度;對(duì)于強(qiáng)色散介質(zhì),首先利用極值點(diǎn)求出膜厚度的初始值。薄膜厚度是一恒定不變值,可根據(jù)極大值點(diǎn)位置的光學(xué)厚度關(guān)系式獲得入射波長和折射率的對(duì)應(yīng)關(guān)系,再依據(jù)薄膜材質(zhì)的色散特性,引入合適的色散模型,常用的色散模型有cauchy模型、Selimeier模型、Lorenz模型等,利用折射率與入射波長的關(guān)系式,通過二乘法擬合得到色散模型的系數(shù),即可解得任意入射波長下的折射率。
目前,應(yīng)用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。如圖2-5(a)所示Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu),在該結(jié)構(gòu)中物鏡和被測(cè)樣品之間有兩塊平板,一個(gè)是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡,另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡,由于參考鏡位于物鏡和被測(cè)樣品之間,從而使物鏡外殼更加緊湊,工作距離相對(duì)而言短一些,其倍率一般為10-50倍,Mirau顯微干涉物鏡參考端使用與測(cè)量端相同顯微物鏡,因此沒有額外的光程差。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的薄膜厚度控制。
干涉法作為面掃描方式可以一次性對(duì)薄膜局域內(nèi)的厚度進(jìn)行解算,適用于對(duì)面型整體形貌特征要求較高的測(cè)量對(duì)象。干涉法算法在于相位信息的提取,借助多種復(fù)合算法通常可以達(dá)到納米級(jí)的測(cè)量準(zhǔn)確度。然而主動(dòng)干涉法對(duì)條紋穩(wěn)定性不佳,光學(xué)元件表面的不清潔、光照度不均勻、光源不穩(wěn)定、外界氣流震動(dòng)干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39],使干涉圖樣中包含噪聲和部分區(qū)域的陰影,給后期處理帶來困難。除此之外,干涉法系統(tǒng)精度的來源——精密移動(dòng)及定位部件也增加了系統(tǒng)的成本,高精度的干涉儀往往較為昂貴。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以對(duì)薄膜的厚度、反射率、折射率等光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。有哪些膜厚儀大概價(jià)格多少
白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以通過對(duì)干涉曲線的分析實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的厚度測(cè)量。高精度膜厚儀銷售價(jià)格
干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率,然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,干涉法是通過設(shè)置參考光路,形成與測(cè)量光路間的干涉條紋,因此其相位信息包含兩個(gè)部分,分別是由參考平面和測(cè)量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)部多次反射引起的膜厚相位。干涉法測(cè)量光路使用面陣CCD接收參考平面和測(cè)量平面間相干波面的干涉光強(qiáng)分布,不同于以上三種點(diǎn)測(cè)量方式,可一次性生成薄膜待測(cè)區(qū)域的表面形貌信息,但同時(shí)由于存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算,完成單次測(cè)量的時(shí)間相對(duì)較長。高精度膜厚儀銷售價(jià)格
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迷你魚缸加熱制冷機(jī)是一款專為小型魚類生活環(huán)境提供準(zhǔn)確溫度控制而設(shè)計(jì)的設(shè)備。它充分利用先進(jìn)的循制冷循環(huán)技術(shù),確保了精確的溫度掌控,使得養(yǎng)殖環(huán)境更加穩(wěn)定和可靠。該設(shè)備的主要功能特點(diǎn)有以下幾點(diǎn):首先,整個(gè)魚 。
家具選擇是很多業(yè)主比較頭疼的問題,而全屋定制可以一次性解決這個(gè)問題,那做全屋定制需要了解的知識(shí)有哪些呢?-起來了解看看吧。做全屋定制需要了解的知識(shí)有哪些?1.了解板材質(zhì)量和工藝:全屋定制產(chǎn)品中的百分之 。
在回味過去展區(qū)參展者能夠根據(jù)自我作品的需要在安全,美觀,倫理的前提下自我選擇展覽風(fēng)格和作品。其中作品能夠是參展者在四年內(nèi)的得力之作,也能夠是一些對(duì)自我重要時(shí)刻的照片,物品的整合,獎(jiǎng)狀圖像的整合,歡樂時(shí) 。
塑料電鍍可以與其他表面處理技術(shù)結(jié)合使用。常見的結(jié)合應(yīng)用包括下面幾種:預(yù)處理:在進(jìn)行塑料電鍍之前,通常需要對(duì)塑料表面進(jìn)行預(yù)處理,以確保良好的附著性和電鍍效果。常見的預(yù)處理方法包括表面清潔、去毛刺、鈍化/ 。
洗衣液通常用于洗衣機(jī)中。然而,并不是所有洗衣液都適用于所有洗衣機(jī)類型。洗衣機(jī)可以分為兩種主要類型:前裝式和頂裝式。前裝式洗衣機(jī)通常較為節(jié)能、高效,并且對(duì)衣物的清潔效果更好。而頂裝式洗衣機(jī)則更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠 。
水管漏水是日常生活中比較常見的問題,不僅會(huì)影響家庭正常用水,還會(huì)造成水資源的浪費(fèi)。因此,在進(jìn)行水管漏水檢測(cè)前,有一些注意事項(xiàng)需要了解和注意。觀察水管外觀首先,要觀察水管外觀是否有明顯的損壞或老化現(xiàn)象, 。
在電動(dòng)車測(cè)試過程中,考慮到車輛的節(jié)能和環(huán)保性能是非常重要的。電動(dòng)車作為新型的交通工具,其節(jié)能和環(huán)保性能是消費(fèi)者和廠商都非常關(guān)注的問題。因此,在電動(dòng)車測(cè)試過程中,應(yīng)該采取多種方法和指標(biāo)來評(píng)估其節(jié)能和環(huán)保 。
太陽能光伏發(fā)電是一種環(huán)保的能源利用方式,它有助于保護(hù)環(huán)境,減少污染。太陽能是清潔的可再生能源,利用太陽能光伏發(fā)電不會(huì)產(chǎn)生有害氣體和廢棄物,避免了傳統(tǒng)能源發(fā)電所產(chǎn)生的環(huán)境污染問題。此外,太陽能光伏發(fā)電還 。